热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力,防止显影时间的延长,防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先,采用真空法从胶粘机上的硅---上抽油,将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面,然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下,光刻胶表面均匀分散,去除多余的光刻胶,获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度,预干燥由于溶剂缓蚀剂作用,在80℃的硅片上,防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体,干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程,所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管,有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱,因为不管烘箱什么结构,风向水平还是垂直,归根到底都是热风在里面循环,所以都可通称为热风循环烘箱,电子干燥箱厂商,如电热鼓风烘箱,对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。
热风循环烘箱的常见故障
ssr成功地实现了弱信号(vsr)对强电(输出端负载电压)的控制。ssr虚接或导通后的局部断路致使380v电源缺相,加热器不能全部加热,处理方法是维修或更换固态继电器。而加热器的局部断路,也将使加热不能全部工作,造成加热过程过于缓慢。维修或更换加热器。将故障问题完全处理好。闭合循环烘箱空气开关,按照该烘箱的操作说明书运行其程序,经过2.5h的升温后,烘箱到达设定温度,时间继电器开始计时,烘箱进入断续加热的保温灭菌阶段。保温1h后烘箱开始冷却降温,2.3h 后整个干燥灭菌周期程序运行结束,完全满足该烘箱提供的技术参数要求和工艺参数要求。
低温干燥箱的诸多优点
1.采用方形真空室,使其空间利用更充分。2.只需将门轻轻关上,就能够自动吸住,进行真空处理。3.提高了抽气速率。4.在箱体门前设置放气阀,使其抽气、放气操作方便。
工业烘箱提供---性能
工业烘箱可以采用自动控制系统进行操控,并且在操作的时候,有测定温度双数字显、定时、功率抑制和自整定功能,让控温的温度可以的---。并且在工业烘箱内部,也有设计热风循环系统,主要由低噪声风机和风道组成,让烘箱内部的温度可以的均匀。
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