热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力,防止显影时间的延长,防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先,采用真空法从胶粘机上的硅---上抽油,将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面,然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下,光刻胶表面均匀分散,去除多余的光刻胶,获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度,预干燥由于溶剂缓蚀剂作用,在80℃的硅片上,防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体,干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程,所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管,有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱,因为不管烘箱什么结构,风向水平还是垂直,归根到底都是热风在里面循环,所以都可通称为热风循环烘箱,如电热鼓风烘箱,对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。
无尘烘箱的用途:
和呈无尘烘箱主要用于半导体制造中硅片、铌酸锂、 玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显---的
高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能p.i.d温控系统,得到佳温度控制精度。无尘工业烤
箱适用于电子液晶显示、lcd、 cmos、is、 医
曝物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一. 工业烤箱是一种用于对于生产过程中用于产品加热老化烘烤设备。本产品具有安全性好,洁净度高,节能效果优,保温性佳,温度均匀性好。大多应用于烘烤光学光纤,精密电子及医
二.循环方式及工作原理:
本设备是一种高功能、高---度烤箱,结构、材质、强度、保温、风路循环等皆设计---,且外形美观、操作方便。热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,电感固化炉厂商,当门开、关动作引起扰动时,可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值,使温度更均匀。
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