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热风循环烘箱工作原理

箱体的温度控制采用了gcd一23 a型智能电脑温控和plc自控系统，温度信号的采集用铂电阻，经温度控制器的放大与设定值进行比较得到pid控制信号，同时plc程控器输出控制信号控制固态继电器ssr导通，固态继电器再控制加热器加热，使箱体处于升温除湿阶段。当温度达到设定值时，温控仪输出pid控制信号plc，plc输出控制信号给时间继电器kt，使其开始保温计时，同时，关闭进风机和排风碟阀。通过pid控制电加热不断启闭，箱体处于热风循温灭菌阶段。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅---上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，干燥箱供应商，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。