甘肃铝材时效炉-程运自动化烘干设备

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    2020-12-11

黄先生
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  • 主营产品|转子固化炉,无机盐烘干箱,铜材变色烘箱
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热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的?


1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力,防止显影时间的延长,防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先,采用真空法从胶粘机上的硅---上抽油,将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面,然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下,光刻胶表面均匀分散,去除多余的光刻胶,获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度,预干燥由于溶剂缓蚀剂作用,在80℃的硅片上,防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体,干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程,所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管,有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱,因为不管烘箱什么结构,风向水平还是垂直,铝材时效炉,归根到底都是热风在里面循环,所以都可通称为热风循环烘箱,如电热鼓风烘箱,对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。






恒温烤箱的使用说明

1、工业烤箱需安装在室内干燥及水平处

2、使用前仔细阅读设备说明书,型号不同的工业烤箱配置也是不一样的,使用前先确认温控器及其他配置;

3、通电前,应注意是否有断路或漏电现象以及电箱的电气性能;

4、准备就绪后,可以放入样品,关上箱门,必须同时旋开排气阀,空隙约10m/m左右,再接通电源;

5、要在供电线路中安装和试验相配的电流空气开关一只,并且要有接地线





热风循环烘箱的常见故障



核对一下gcd一23a型智能电脑温控仪的pid调节参数,看是否人为误操作,致使设置参数变更,从而使得系统出现动作异常。pid参数直接影响着系统的调节精度,是控制系统设计的---内容。通过适当的pid参数,pid控制可以根据系统被控过程的误差特性,利用比例、积分、微分计算出系统控制量,得到相应的输出响应特性,控制系统使其达到满意的控制效果。恢复pid参数正常设置值。其次检测循环风机运转是否正常,转向是否正确。如果风机反转或风机负载太大而转速过慢,都将影响热风循环不畅通。当风机反转时,可将风机的电源任意两相倒换;当风机转速过慢时,应从两个方面进行检查:(1)电气方面电源电压是否正常,有无缺相或绕组断路现象。




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